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很多企業在使用石墨舟、石墨舟皿過程中，常出現易氧化、易掉粉、易變形、壽命短等問題，其核心原因并非加工工藝問題，而是石墨基材純度與密度不達標。高純高密度石墨材質，是決定石墨舟使用壽命、穩定性、潔凈度的根本核心。
石墨舟的基材分為普通石墨、中純石墨、高純石墨三大類，品質差距極大。普通石墨灰分高、孔隙大、雜質多，高溫環境下極易氧化脫落，產生大量石墨粉塵，污染電池片與燒結物料，且經過數十次高溫循環后就會出現變形、開裂。而高純石墨經過高溫提純、壓實致密處理，灰分極低，內部結構均勻致密，孔隙率極小，從根源減少粉塵脫落與高溫氧化問題。
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PECVD 系統是一組利用石墨舟和高頻等離子激發器的系列發生器。在低壓和升溫的情況下，等離子發生器直接裝在鍍膜板中間發生反應。發布時間：2020-08-18 -
2020-08-18
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