- 產(chǎn)品名稱(chēng)：
- 石墨舟裝片房
- 產(chǎn)品類(lèi)型：
- PECVD石墨舟
- 產(chǎn)品品牌：
- 捷誠(chéng)
- 產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
- 石墨舟裝片房
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捷誠(chéng)石墨0769-89392518更多信息資訊掃描二維碼咨詢(xún)了解
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PECVD 系統(tǒng)是一組利用石墨舟和高頻等離子激發(fā)器的系列發(fā)生器。在低壓和升溫的情況下，等離子發(fā)生器直接裝在鍍膜板中間發(fā)生反應(yīng)。發(fā)布時(shí)間：2020-08-18 -
在太陽(yáng)能電池片的制造過(guò)程中，硅片進(jìn)行其表面鍍膜工序時(shí)，需要將未鍍膜的硅片插入PECVD真空鍍膜設(shè)備的載片器上，目前，載片器通常采用如圖8所示的石墨舟，具體操作過(guò)程是：將硅片插入石墨舟并通過(guò)石墨舟工藝點(diǎn)定位于其上，然后，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設(shè)備中，采用PECVD工藝對(duì)硅片進(jìn)行鍍膜。發(fā)布時(shí)間：2020-08-18 -
2020-08-18
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