曾幾何時,高端石墨制品領(lǐng)域是國外企業(yè)的天下。日本東洋碳素、德國西格里等國際巨頭,憑借著先進(jìn)的純化與加工技術(shù),壟斷了全球高端石墨市場,國內(nèi)的半導(dǎo)體、光伏企業(yè)想要采購高純石墨制品,不僅要付出高昂的價格,還要面臨漫長的交付周期,甚至在關(guān)鍵時期還會面臨 “卡脖子” 的風(fēng)險。而如今,經(jīng)過多年的技術(shù)攻堅,國內(nèi)企業(yè)已經(jīng)實現(xiàn)了從追趕到并跑的跨越,高端石墨制品的國產(chǎn)替代正在全面加速。
在過去,國內(nèi)的石墨純化技術(shù)只能將產(chǎn)品的純度做到 4N(99.99%),而半導(dǎo)體、第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域需要的是 6N(99.9999%)甚至更高的純度,尤其是硼、鋁等痕量元素,需要控制在 0.01ppmw 以下,這是當(dāng)時國內(nèi)技術(shù)無法突破的瓶頸。為了突破這個壁壘,國內(nèi)的研發(fā)團(tuán)隊開始了漫長的攻堅之路,山西中電科的研發(fā)團(tuán)隊就是其中的代表。他們從 2019 年開始,瞄準(zhǔn) 2400℃的高溫純化技術(shù),一步步攻克了高溫測溫、氣流均勻性、高真空環(huán)境等一系列難題,最終研發(fā)出了自主的高溫純化爐。
從第一代實現(xiàn) “從 0 到 1” 的突破,到第二代提升產(chǎn)能、降低能耗,再到第三代實現(xiàn) 6N 的超高純度,將硼、鋁元素控制在 0.01ppmw 以下,再到第四代搭載智能工藝系統(tǒng),實現(xiàn)一鍵式全自動生產(chǎn),僅僅用了 5 年時間,國內(nèi)的純化裝備就完成了四代迭代。如今,國產(chǎn)的高溫純化爐,價格僅為國外同類產(chǎn)品的 1/4 到 1/5,交付周期從 1 年縮短到 3 個月,而產(chǎn)品的純度卻達(dá)到了國際先進(jìn)水平,完全可以滿足半導(dǎo)體級的應(yīng)用要求。
除了純化技術(shù),加工技術(shù)的突破也同樣重要。過去,高端石墨制品的精密加工技術(shù)被國外壟斷,而現(xiàn)在,國內(nèi)企業(yè)已經(jīng)掌握了五軸聯(lián)動的精密加工技術(shù),可以實現(xiàn) ±0.02mm 的加工精度,同時還開發(fā)出了 SiC 復(fù)合涂層等表面強(qiáng)化技術(shù),讓石墨制品的抗氧化、耐腐蝕性能提升了數(shù)倍。寧夏的企業(yè)研發(fā)的第三代半導(dǎo)體用超純超細(xì)石墨,已經(jīng)實現(xiàn)了批量生產(chǎn),技術(shù)指標(biāo)完全達(dá)到了國外同行的標(biāo)準(zhǔn),打破了國外的壟斷。
這些技術(shù)突破,徹底改寫了市場的格局。數(shù)據(jù)顯示,過去高端特種石墨的進(jìn)口依賴度高達(dá) 60%,而現(xiàn)在,國內(nèi)頭部企業(yè)的產(chǎn)品已經(jīng)可以覆蓋大部分高端應(yīng)用場景,國外同類裝備在國內(nèi)市場的銷量幾乎降至零。不僅如此,國產(chǎn)的高端石墨制品還開始出口海外,為全球的新能源、半導(dǎo)體企業(yè)提供配套。
從依賴進(jìn)口到自主可控,從技術(shù)追趕到行業(yè)領(lǐng)跑,高端石墨制品的國產(chǎn)替代之路,正是我國高端材料產(chǎn)業(yè)突圍的一個縮影。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,未來,國產(chǎn)高端石墨制品將會在更多的領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破,為我國的高端制造產(chǎn)業(yè)提供更堅實的材料保障,真正實現(xiàn)關(guān)鍵核心技術(shù)的自主可控。