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石墨盤根用碳纖維絲與石墨線等材料組合織造，并用鎳絲增強盤根的機械強度，添加石墨油潤滑劑。該產品有高碳盤根的特性和柔性石墨盤根的出色功用，具有自潤滑、高強度、耐高低溫、耐腐蝕等優異功用。廣泛適用于高溫高壓閥門密封。

在外延成長領域，高純石墨盤是必不可少的。它在外延成長中起到加熱和裝載半導體晶圓的作用。現在，主流外延設備廠商配套的石墨盤在結構上基本相同，均采用在石墨盤基座上規劃一個晶圓形狀的淺凹槽的方式來裝載晶圓。這種規劃在成長小尺度的晶圓(比如說4寸半導體晶圓)來說是合理的，保護起來也很方便。但對于成長大尺度的外延片，基于下降晶圓被旋轉的石墨盤甩出的風險，晶圓槽底部相對于石墨盤頂部的高度比小尺度石墨盤大一些。