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電子燒結(jié)過程所用的石墨模具材料，主要為超細(xì)顆粒結(jié)構(gòu)、高純度和高石墨化度的石墨材料，要求其平均粒徑小于15μm，甚至10μm以下，中等氣孔尺寸小于2μm。用此炭素原料做成的石墨模，氣孔率小、結(jié)構(gòu)致密、表面光潔度高、抗氧化性較強(qiáng)等優(yōu)點，平均使用壽命可達(dá)30～40次。利用人造石墨材料熱變形極小的特點，可制造晶體管的電子燒結(jié)石墨模具和支架，現(xiàn)已廣泛使用，它已成為發(fā)展半導(dǎo)體工業(yè)不可缺少的材料。石墨模具具有優(yōu)秀的導(dǎo)熱及導(dǎo)電性能，線收縮系數(shù)低等很好的熱穩(wěn)定性能及抗加熱沖擊性，具有良好的光滑和抗磨性，易于加工，機(jī)械加工性能好，能夠制造成外形復(fù)雜、精度高的模具，耐化學(xué)腐蝕與多數(shù)金屬不易發(fā)作反響。