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直拉單晶爐的熱系統的結構有哪些?
jcshimo   |   2023-08-26 10:30:16

       直拉單晶爐的熱體系,也便是所謂的熱場,是指為了熔化硅料,并使單晶成長保持在 溫度下進行的整個體系。
  石墨熱場一般包含(石墨資料)壓環、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導流筒、石墨螺栓,且為了防止漏硅,爐底、金屬電極、托桿、都設置了保護板、保護套。
  石墨熱場簡略的說便是用來拉單晶硅的整套石墨加熱體系。我們出產的石墨熱場常見的是18寸,22寸寸和24寸。一種盛行的設計方案是選用石墨資料制造熱場隔熱部件。標準的石墨保溫資料由板狀或許多層毯狀石墨化碳纖維資料組成,在挨近熱場中心的內外表往往需求加覆一層石墨紙或碳碳復合資料薄板用來提高熱反射率和防止高壓氣流的沖刷。因為石墨資料本身所具有的多孔性和可滲透性,各層隔熱資料之間不需求預留額外的空間。石墨資料具有優異的隔熱功能,本錢一般較金屬屏低,而且非常易于運用。就制造本錢,耐用性和可維護性而言,石墨隔熱軟氈較石墨隔熱硬氈具有 的優勢。通過出產實踐,金屬隔熱屏往往不適于環境惡劣的真空釬焊工藝。
  來自于焊料的金屬物質會沉積在金屬隔熱屏的外表,因為隔熱屏與所附著的焊料物質的熱膨脹系數不同,金屬隔熱屏會產生彎曲變形與開裂,這會下降金屬屏的隔熱功能。金屬屏在遇到銅焊合金濺射的情況下很簡單遭到危害,導致屏的外表構成孔洞,熱量會從這些孔洞中傳遞出去。
  當然,運用厚一些的金屬屏特別是鉬合金的屏會延伸金屬熱場的運用壽數,可是卻增加了可觀的本錢。比較好的解決方案是選用石墨資料制造隔熱部件,實踐證明,盡管在釬焊工藝中會有許多焊料沉積在石墨隔熱資料的外表,可是卻不會產生熔解的焊料與石墨隔熱資料的熔合現象。盡管有人會質疑,認為石墨資料比金屬資料更簡單吸收水分,水分對釬焊工藝進程危害很大,可是,實踐證明熱場循環往復的升溫與降溫會很好地打掃石墨隔熱材猜中的水分。

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